国内的基建速度每每能让人震动。
哪怕他这个磁悬浮列车的方案提出者，对于磁悬浮列车示范区的建设速度也极为震惊。
铁道部从去年起就憋着口气，如今的建设速度极为夸张。
尤其是年初奉天市第一机床厂终于完成了五轴五联动的数控机床，整个磁悬浮列车施工蜿蜒段的技术要求便彻底达标。
这条二十公里的磁悬浮建设段，大有下半年就要完工启动测试的迹象。
沈永健这边对于磁悬浮所需的电力系统，也担心电力供应问题，进行了特高压输电线的研制。
不过研制工作才进行到一半，随着微电子厂如今L-3芯片出口产量的进一步扩大。
包括卓邵文处L-5芯片最终研制生产对工艺的更高要求。
沈永健还是暂时将特高压输电线放放，先把精力投入在光刻机上。
距离上一次光刻机改进，已是四年前。
步进式光刻机，在目前已经是极为先进的产品。
米方当下新一代的光刻机是投影光刻机，和国内的步进式光刻机算是同一代设备。
不过总的而言，还是国内步进式光刻机更为成熟，也是未来演进的方向。
沈永健翻看着微电子厂送来的使用反馈。
有一线光刻机操作员的反馈，也有技术维修相关工程师的反馈，同时还有份是自己学生薛福根的意见。
意见总共有几条，首先便是视野有限。
目前的光刻机对于L-3与L-4的几个延伸型号芯片，尤其是设计面积大的“大芯片”容易照不全。
需要将这块“大芯片”拆分成好几块拼接曝光。
而且工艺上曝光的边缘容易糊，不均匀。
多层套刻时，精度比较差，这也是目前新一代L-4芯片良品率上不去的主要原因。
沈永健眉头微蹙，从边上的档案袋内取出上一代的步进重复光刻机图纸。
脑中仔细回顾原先的设计思路，包括这些年对于光刻机的一些想法积累，很快便动笔规划起新图纸。
关于光刻机的几代演进方向，他心中一清二楚。
真要只是从设计考虑，他能发挥的空间很大，哪怕是后世接近现代化光刻机也并非不可能。
但考虑到现实的生产条件，最后还是摇了摇头，将步进重复光刻机先试着升级为步进扫描光刻机。
步进重复与步进扫描，其实都算是步进式光刻机，但两者性能差距不小。
传统的步进重复是“静止曝光”，而步进扫描则是“动态曝光”。
在曝光瞬间，掩模台和硅片台不再保持静止，而是按照精确的缩小比例进行同步反向移动。
照明光线只通过一个狭长的“狭缝”对硅片进行扫描式曝光。
一边设计，沈永健一边在纸张上推导着各类公式，对设计本身进行着验证。
步进扫描的镜头视野覆盖面积会更大。
扫描过程中，光源波动的曝光不均匀局部缺陷，也会尽可能的被“平均”掉。
一连几天，沈永健都将心思花在了新一代光刻机改进上。
别看都是步进式光刻机，但实际的改进难度极大，所有的一整套设备都需要进行更高标准的更新。
“沈委员，按照您的描述，投影物镜这块应该没问题。”
“只是您说的激光传感器…暂时还需要时间，我们所里对激光这个方向还未有过研究…”
话筒里说话的是北春所的申所长。
对于投影物镜这一块的新标准，北春所这些年一直在投入精力研究，也有信心在短时间内满足沈永健的需求。
唯独这激光传感器这块，反而有些困难。
“这样吧，你们所目前掌握的激光技术与论文传一份给我吧，激光干涉仪这块我来想办法。”
步进重复光刻机，掩模基本是静止的。
而新一代的步进扫描，掩模台必须和硅片台同步反向移动，这里头需要改进的可不少。
需加装精密的直线电机与气浮导轨不说，高精度的位置传感器要求也很高。
在现有条件下，利用激光技术研制激光干涉仪，是相对容易实现的方案。
与申所长聊完，预备拨打下一个单位电话之际，却不想外头传来敲门声。
办公室门被打开，李牛先一步汇报。
沈永健立刻收拾起办公桌上的资料，不多时，徐成先与外贸部的柳副部长二人被李牛引入屋内。
“柳部长，成先同志，你们俩一起找我倒是少见…”
“我还以为又是哪个大学的领导呢！”
沈永健一边说着，一边给二人递上才冲泡好的茶水。
柳副部长接过茶杯，简单道了声谢，便直奔主题道。
“永健同志，这次我和成先同志过来，主要是有关稀土贸易。”
“国内的稀土生产，开始就是永健同志你一力主导带动，这出口贸易的事…想听听你的意见。”
…
“稀土贸易？”
沈永健微微一愣，随即迅速追问道。
“是国际上的需求增加了？”
…
“是！”
“我们部委已经调查清楚，一方面是去年全球市场逐渐流行的彩色电视机，彩色显像管对稀土需求大。”
“另一边就是最近全球的手机产业兴起，扬声器与振动马达对于稀土也有了一定需求。”
“不过主要还是电视机的缘故。”
受全球液晶电视产业的冲击影响，其他国家在电视领域的研发追赶和竞争也愈发激烈。
竞争方向也从原先的黑白电视演化为彩色电视。
当然不光是国外的彩色显像管电视需要稀土，国内液晶电视换了套技术逻辑，但发光源这一块同样需要稀土。
可以说彩色电视机延伸出的庞大市场需求，引爆了第一次全球范围的稀土紧缺。
“目前有哪几个国家找过我们？”
…
“英方和法方最先来问的。”
“其中英方完全没有本土的稀土生产，原先就是从法方和米方进口的。”
“至于法方的自己有钇，铕，镧和镨等稀土的加工，产量也不算小，但实际生产效率太低，部分加工中有放射性的废料。”
“目前突然需求加大，找我们询价也有意向，只要我们价格合适，他们没想扩大稀土加工。”
柳副部长对两国的稀土产业与需求了解得很细。
沈永健默默点头，不过关注点却并非这两国。
“米方呢？有没有来询价，他们国内目前稀土产业水平呢？”
…
“有…也有，都是在这个月来询价的，米方算是最精明的了。”
柳副部长说着还冷哼了一声，像是有些瞧不上米方的行为。
“米方自己国内稀土储量丰富，在加州还有一处巨大的稀土加工中心，目前全球市场的相关供应就是由米方提供的，占了全球供应的70%左右。”
“但这次他们的贸易代表也跑来询问我们的出售意愿和价格。”
“说白了，就是从成本考虑，想看看能不能用更便宜的价格从我们这儿拿货，好降低他们国内电视产业的生产成本。”
…